ВЛИЯНИЕ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ИМПУЛЬСНОГО ДЕЙСТВИЯ НА СТРУКТУРУ, НАПРЯЖЕННОЕ СОСТОЯНИЕ И ТВЕРДОСТЬ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫХ TIN-ПОКРЫТИЙ
Анотація
Методом вакуумно- дугового осаждения с использованием высокочастотной импульсной ионной имплантации (метод PBIID) получены покрытия нитрида титана с твердостью, превышающей 40 ГПа и высокой стойкостью к износу при резании. Выявлены закономерности изменения фазового состава структурно- напряженного состояния, твердости от величины и длительности высоковольтного высокоэнергетичного, высокочастотного отрицательного потенциала, который подается на подложку во время осаждения. Подача высоковольтных импульсов приводит к формированию стабильного структурного состояния мононитрида титана с кубической (структурный тип NaCl) кристаллической решеткой. Сравнение структуры и напряженного состояния покрытий нитрида титана, полученных по обычной схеме без подачи добавочных высоковольтных импульсов на подложку в процессе осаждения и с наложением таких импульсов показывает, что особенностями воздействия импульсов является значительное уменьшение размеров кристаллитов, повышение структурной однородности и упорядочение материала в результате релаксационных процессов в области действия термического пика.
Посилання
I. C. Noyan and J. B. Cohen, Residual Stress Measurement by Diffraction and Interpretation, Springer-Verlag, New York, 1987. 350 р.
Genzel C., Reinmers W. A Study of X-ray Residual-Stress Gradient Analisys in Thin-Layers with Strong Filer Texture // Phys. Stat. Solidi: A-Applied Research. – 1998. Vol.166, №2. – P. 75–762.
Gargaud P., Labat S., Thomas O. Limits of validity of the crystallite group method in stress determination of thin film structures // Thin Solid Films. – 1998. – Vol. 319. – P. 9–15.
Aznakayev E. Micron - Gamma for Estimation the Physico-mechanical Properties of Micromaterials // Proceedings of the International Conference “Small Talk – 2003”, San Diego, California, USA, 2003 – TP.001. – P. 8–10.
Grigoriev S. N., Metel A. S. Plasma- and beam-assisted deposition methods. // Nanostructured thin films and nanodispersion strengthened coatings. Book Series: NATO Science series, Series II: Mathematics, Physics and Chemistry. 2004, p.p. 147–154.
Piot O., Gautier C., Machet J. Comparative study of CrN coatings deposited by ion plating and vacuum arc evaporation. Influence of the nature and the energy of the layer-forming species on the structural and the mechanical properties // Surf. & Coat. Tech. 94–95 (1997) 409–415.
О. В. Соболь, С. Н. Дуб, О. Н. Григорьев, А. Н. Стеценко, А. А. Подтележников Особенности фазового состава, структуры, напряженного состояния и механических характеристик конденсатов боридной системы W-Ti-B, полученных триодным распылением //
Сверхтвердые материалы. – 2005. – № 5. – С. 38–47
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2015 Енергозбереження. Енергетика. Енергоаудит.
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами: Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи, яка через [6 місяців] з дати публікації автоматично стає доступною на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).