ДОСЛІДЖЕННЯ ПАРАМЕТРІВ ПЛАЗМОВОГО ПОТОКУ УСТАНОВКИ ДЛЯ ІОННО-ПЛАЗМОВОЇ МОДИФІКАЦІЇ СКЛА
Ключові слова:
іон, низькотемпературна плазма, електричний зонд, вольт-амперна характеристика, скло.Анотація
У статті на підставі зондової методики досліджено зміну потенціалу плазмового потоку й проведена оцінка концентрації позитивних іонів матеріалу впровадження при іонно-плазмовій модифікації поверхні скла при атмосферному тиску.Посилання
References:
1. Chen F. F. Principles of plasma processing [Text] / Fransis F. Chen, Jane P. Chang. – Los Angeles : Plenum/Kluwer Publishers, 2002. – 249 p.
2. Fridman A. Plasma Chemestry [Text] / Alexander Fridman. – Cambridge : Cambridge University Press, 2008. – 1022 p. – ISBN-13 978-0-511-39857-5.
3. Fizika i tehnika nizkotemperaturnoj plazmy / [S. V. Dresvin, A. V. Donskoj, V. M. Gol'dfarb, V. S. Klubnikin]; pod obshh. red. S. V. Dresvina. – M.: Atomizdat, 1972. – 352 s.
4. Magunov A. N. Teploobmen neravnovesnoj plazmy s poverhnost'ju [Tekst] / A. N. Magunov. – M.: FIZMATLIT, 2005. – 312 s. – ISBN 5-9221-0599-X.
5. Hutchinson I. H. Principles of plasma diagnostics [Text] / I. H. Hutchinson. – 2nd edition. – Cambridge : Cambridge University Press, 2005. – 460 p.
6. Conde L. An introduction to Langmuir probe diagnostics of plasma [Text] / Luis Conde. – Madrid : Dept. Física. E.T.S.I. Aeronáut ngenieros Aeronáuticos Universidad Politécnica de Madrid, 2011. – 28 p.
7. Chen F. F. Langmuir probe diagnostics [Text] / Fransis F. Chen. – Jeju : IEEE-ICOPS, 2003. – 42 p.
8. Svojstva nizkotemperaturnoj plazmy i metody ee diagnostiki / [pod red. M. F. Zhukova]. – Novosibirsk : Nauka, 1977. – 295 p.
9. Andreev V. L. Diagnostika plazmy zondami provodimosti : Ucheb. Posobie [Tekst] / V. L. Andreev, I. V. Bragin, V. F. Mihajlov. – SPb. : SPbGUAP, 2000. – 104 p. : p il.
10. Avdeev I. V. Jelektrotehnicheskij kompleks dlja izmerenija temperatur plazmennyh potokov pri poverhnostnoj modifikacii stekla / I. V. Avdeev, A. A. Shram // Jelektrotehnika i jelektrojenergetika. – Zaporozh'e, 2012. – № 2. – P. 49 –51
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2015 Енергозбереження. Енергетика. Енергоаудит.
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами: Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи, яка через [6 місяців] з дати публікації автоматично стає доступною на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).