РАЗРАБОТКА БАЗОВЫХ СЛОЕВ ДИОКСИДА ОЛОВА ДЛЯ ГАЗОВЫХ ДАТЧИКОВ АБСОРБЦИОННО-ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ТИПА

G. S. Khrypunov, N. P. Klochko, N. N. Udyansky, A. L. Khrypunova, A. L. Khrypunova, N. A. Kovtun

Аннотация


Проведны исследования газочуствительности пленок диоксида олова, полученных методом химического осаждения из паровой фазы, для создания базовых слоев газових датчиков абсорбционно-полупроводникового типа путем измерений температурных зависимостей поверхностной электропроводности. Экспериментально установлена зависимость газочувствительности пленок диоксида олова от его температуры при одновременно присутствующих в различных концентрациях газов монооксида азота и кислорода в смеси с азотом, а также при различных концентрациях монооксида азота и диоксида азота в воздухе. Идентифицирована зависимость от температуры газочувствительности пленок диоксида олова к примеси паров этилового спирта в воздухе (СC2H5OH=10000ppm) и к примеси паров аммиака в воздухе (СNH3 =6600ppm). Исследована газочувствительность пленок SnO2 при различных концентрациях примеси паров C2H5OH и NH3 в воздухе при температуре 450оC. Установлена температурная зависимость времени восстановления электрических свойств пленок после взаимодействия с парами этилового спирта (СC2H5OH=10000ppm) и аммиака (СNH3 =6600ppm) в воздухе

Ключевые слова


пленки диоксида олова; газочуствительность; поверхностная электропроводность; метод парофазного химического осаждения

Полный текст:

PDF

Пристатейная библиография ГОСТ


1. Windischmann H., Mark P. A model for the operation of thin-film SnOx conductance-modulation carbon monooxide sensor // Electrochem. Soc. – 1979. – № 126. – P.1813–1816.

2. Газочувствительные датчики на основе металлоокисных полупроводников / Бутурлин А.И., Гарбузян Т. А., Голованов Н. А. и др. – М.: Изд-во ЦНИИ «Электроника», 1983. – 39 с

Gas sensitive sensors based on metal oxide semiconductors / Buturlin A.I., Garbuzyan T.A., Golovanov N. A. etc. – M.: Izd CSRI "Electronics", 1983. –39 p (Rus.)

3. Komornicki S., Szklarski Z.. Single crystal and sintered ceramic gas sensors // Bull. of the Polish Ac. of Sc. Chemistry. – 1989. –V.37. – № 5–6. – P.221–230.

4. McAleer J. F., Moseley P. T., Norris J.O.W. Tin dioxide gas sensors // Chem.Soc. –1987. –V.4. – № 83. – P.1323–1346.





Copyright (c) 2015 Энергосбережение. Энергетика. Энергоаудит.

Creative Commons License
Эта работа лицензирована Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Энергосбережение. Энергетика. Энергоаудит.

адрес: ул. Мироносицкая, 60, г. Харьков, Украина, 61002. e-mail: 

       journeee@mail.ru;  sveco_ltd@rambler.ru;   сайт:eee.khpi.edu.ua 

Телефон: +38 057 703-23-18; факс: +38 057 714-94-51.

Яндекс.Метрика